Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
Date
Authors
Advisor
Type
Ph.D. Thesis
Publisher
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Alternative
The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics
Date Defence
2002-07-12
Faculty
Villamosmérnöki és Informatikai Kar
- Cite this item
- http://hdl.handle.net/10890/203
OOC works
Abstract
Description
Keywords
Roncsolásmentes anyagvizsgálat, Ionsugár, Magreakció