Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal

Thumbnail
Megtekintés/Megnyitás
Metaadat
Teljes megjelenítés
Link a dokumentumra való hivatkozáshoz:
http://hdl.handle.net/10890/203
Gyűjtemény
Cím és alcím
Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
Cím és alcím más nyelven
The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics
Szerző
Battistig, Gábor
Megjelenés ideje
2001
Védés dátuma
2002-07-12
Témavezető
Egyéni felkészülő
Kiadó
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Nyelv
hu
Egyéb azonosítók
BME OMIKK katalógus-azonosító: 000450822
Dokumentumtípus
Ph.D. Thesis
Kar
Villamosmérnöki és Informatikai Kar