Műegyetemi Digitális Archívum
 

Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal

Date

Type

Ph.D. Thesis

Publisher

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem

Alternative

The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics

Date Defence

2002-07-12

Faculty

Villamosmérnöki és Informatikai Kar

OOC works

Abstract

Description

Keywords

Roncsolásmentes anyagvizsgálat, Ionsugár, Magreakció