Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
Egyéni felkészülő | ||
Battistig, Gábor | ||
2015-08-03T10:28:08Z | ||
2015-08-03T10:28:08Z | ||
2001 | ||
http://hdl.handle.net/10890/203 | ||
hu | ||
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem | ||
Roncsolásmentes anyagvizsgálat | ||
Ionsugár | ||
Magreakció | ||
Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal | hu | |
The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics | ||
Ph.D. Thesis | ||
2002-07-12 | ||
Villamosmérnöki és Informatikai Kar | ||
000450822 |