Fókuszált ionsugaras nanomegmunkálás
Date
Authors
Type
Ph.D. Thesis
Publisher
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Alternative
Nanomachining by focused ion beam
Date Defence
2010-02-04
Doctoral School
Fizikai Tudományok Doktori Iskola
Faculty
Természettudományi Kar
- Cite this item
- http://hdl.handle.net/10890/892
OOC works
Abstract
Description
Keywords
Elektronsugaras megmunkálás, Ionsugár, Nanotechnika