Műegyetemi Digitális Archívum
 

Fókuszált ionsugaras nanomegmunkálás

Date

Type

Ph.D. Thesis

Publisher

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem

Alternative

Nanomachining by focused ion beam

Date Defence

2010-02-04

Doctoral School

Fizikai Tudományok Doktori Iskola

Faculty

Természettudományi Kar

OOC works

Abstract

Description

Keywords

Elektronsugaras megmunkálás, Ionsugár, Nanotechnika