Fókuszált ionsugaras nanomegmunkálás

View/Open

Értekezés (21.62Mb)

Tézisfüzet (magyar) (44.93Kb)

Tézisfüzet (angol) (37.15Kb)

Metadata

Show full item record

URI

http://hdl.handle.net/10890/892

Collections

Fizikai Tudományok Doktori Iskola [122]

Title: Fókuszált ionsugaras nanomegmunkálás
Title and subtitle in another language: Nanomachining by focused ion beam
Author: Horváth, Enikő
Date of issue: 2009
Date of defence: 2010-02-04
Advisor: Tóth, Attila Lajos; Kocsányi, László
Publisher: Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Language: hu
Identifiers: BME OMIKK katalógus-azonosító: 000501363
Document type: Ph.D. Thesis
Faculty: Természettudományi Kar
Doctoral school: Fizikai Tudományok Doktori Iskola