Műegyetemi Digitális Archívum
 

III-nitrid vékonyrétegek és SiC nanoszemcsék elektronmikroszkópiája

Date

Type

Ph.D. Thesis

Publisher

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem

Alternative

Electron microscopy of III-nitrid thin films and SiC nanocrystals

Date Defence

2005-12-20

Faculty

Természettudományi Kar

OOC works

Abstract

Description

Keywords

Vékonyréteg-technika, Nitrid, Szilícium, Karbid, Szövetszerkezet-vizsgálat, Elektronmikroszkóp