Hőátvitel szilícium mikrogépészeti szerkezetekben
Date
Authors
Advisor
Type
Ph.D. Thesis
Publisher
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Alternative
Heat transfer in silicon micromechanical structures
Date Defence
2004-04-30
Faculty
Természettudományi Kar
- Cite this item
- http://hdl.handle.net/10890/262
OOC works
Abstract
Description
Keywords
Termikus tulajdonság, Mérőátalakító, Szilícium