Műegyetemi Digitális Archívum
 

Hőátvitel szilícium mikrogépészeti szerkezetekben

Date

Type

Ph.D. Thesis

Publisher

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem

Alternative

Heat transfer in silicon micromechanical structures

Date Defence

2004-04-30

Faculty

Természettudományi Kar

OOC works

Abstract

Description

Keywords

Termikus tulajdonság, Mérőátalakító, Szilícium