Műegyetemi Digitális Archívum
 

CMOS-kompatibilis kapacitív páraérzékelő

Date

Type

Ph.D. Thesis

Publisher

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem

Alternative

CMOS compatible capacitive humidity sensor

Date Defence

2014-03-21

Doctoral School

Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola

Faculty

Villamosmérnöki és Informatikai Kar

OOC works

Abstract

Description

Keywords

Integrált áramkör, MOS, Vékonyréteg-technika, Nedvesség, Mérőátalakító