CMOS-kompatibilis kapacitív páraérzékelő
Date
Authors
Advisor
Type
Ph.D. Thesis
Publisher
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Alternative
CMOS compatible capacitive humidity sensor
Date Defence
2014-03-21
Doctoral School
Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola
Faculty
Villamosmérnöki és Informatikai Kar
- Cite this item
- http://hdl.handle.net/10890/1286
OOC works
Abstract
Description
Keywords
Integrált áramkör, MOS, Vékonyréteg-technika, Nedvesség, Mérőátalakító