Fémezési technológia és lézeres furatkészítés furatfémezett flexibilis hordozók előállítására
Date
Authors
Type
folyóiratcikk
Reading access rights:
Open access
ISSN, e-ISSN
0018-2028
Periodical Number
1
Periodical Volume
59
Container Title
Híradástechnika
Version
Preprint
First Page
47
Subject Area
Műszaki tudományok
Subject Field
Villamosmérnöki tudományok
Gender
Tudományos cikk
- Cite this item
- http://hdl.handle.net/10890/1709
OOC works
Abstract
A rajzolatfinomság folyamatos növelése megköveteli újfajta áramköri hordozók elôállítását melyek képesek követni a mikrochipek fejlôdését. A cikkben beszámolunk a lézeres fúrás optimalizálásáról és a flexibilis polimer hordozók rézzel történô bevonására vonatkozó kutatásunkról. Az alkalmazott nagysebességû lézerrendszer használata lehetôvé teszi, hogy költséghatékony módon állítsunk elô mikroviákat polimer hordozóban. Szabadalmaztatott eljárásunk keretében a furatfémezési és a polimer rétegre történô fémleválasztást egy lépésben végezzük el. A kialakult réz összefüggô, jól tapadó alapréteget biztosít a galván réz növesztéséhez.