Plazmaösszetétel vizsgálata CVD gyémántleválasztás közben
Date
Authors
Advisor
Type
Ph.D. Thesis
Publisher
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Alternative
Investigation of plasma composition in CVD diamond deposition
Date Defence
2011-04-26
Doctoral School
Fizikai Tudományok Doktori Iskola
Faculty
Természettudományi Kar
- Cite this item
- http://hdl.handle.net/10890/1023
OOC works
Abstract
Description
Keywords
Vékonyréteg-technika, Vákuumgőzölés, Plazmaszórás, Egykristály, Kristálynövesztés, Ipari gyémánt