A félvezetőiparban tisztításra használt perfluor-etán visszanyerése
| 2022-10-21T09:46:19Z | ||
| 2022-10-21T09:46:19Z | ||
| 2005 | ||
| http://hdl.handle.net/10890/19471 | ||
| hu | ||
| OMIKK | ||
| A félvezetőiparban tisztításra használt perfluor-etán visszanyerése | ||
| Folyóiratcikk | ||
| Open Access | ||
| BME OMIKK | ||
| 0209-729X | ||
| Műszaki információ. Hulladékok és másodnyersanyagok hasznosítása | ||
| Kiadói változat | ||
| 03. sz. | ||
| 2005 | ||
| Budapest | ||
| hulladékok | ||
| félvezetőgyártás | ||
| gáz | ||
| hulladék | ||
| membrántechnika | ||
| plazma | ||
| tisztítás | ||
| visszanyerés | ||
| Szemle |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- hull_2005_03_0308.pdf
- Size:
- 383 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Hulladekok_2005_03_0308.pdf