A félvezetőiparban tisztításra használt perfluor-etán visszanyerése
Date
Type
Folyóiratcikk
Language
hu
Publisher
OMIKK
Reading access rights:
Open Access
Rights Holder
BME OMIKK
ISSN, e-ISSN
0209-729X
Container Title
Műszaki információ. Hulladékok és másodnyersanyagok hasznosítása
Version
Kiadói változat
Source Number
03. sz.
Source Year
2005
Subject (OSZKAR)
hulladékok
félvezetőgyártás
gáz
hulladék
membrántechnika
plazma
tisztítás
visszanyerés
félvezetőgyártás
gáz
hulladék
membrántechnika
plazma
tisztítás
visszanyerés
Gender
Szemle