MEMS elemek termikus és elektrosztatikus szimulációja a szukcesszív csomópont-redukció módszerével
Date
Authors
Type
folyóiratcikk
Reading access rights:
Open access
ISSN, e-ISSN
0018-2028
Periodical Number
5
Periodical Volume
LVIII
Container Title
Híradástechnika
Version
Preprint
First Page
21
Subject Area
Műszaki tudományok
Subject Field
Villamosmérnöki tudományok
Subject (OSZKAR)
termikus szimuláció
elektrosztatikus szimuláció
MEMS szimuláció
elektrosztatikus szimuláció
MEMS szimuláció
Gender
Tudományos cikk
- Cite this item
- http://hdl.handle.net/10890/2658
OOC works
Abstract
Tetszőleges 3D (így pl.: mikro-elektromechanikus – MEMS) struktúrák különféle, Poisson egyenlettel leírható skalártérbeli – akár állandósult állapotbeli, akár dinamikus – viselkedésének gyors és pontos szimulációjára alkalmas a BME Elektronikus Eszközök Tanszékén kifejlesztett SUNRED (SUccessive Node REDuction) algoritmus. A cikk bemutatja az algoritmus működését, valamint alkalmazását termikus szimulációkban.