Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez
Date
Authors
Type
Ph.D. Thesis
Publisher
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Alternative
Wafer bonding for three dimensional microstructures
Date Defence
2016-03-18
Doctoral School
Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola
Faculty
Villamosmérnöki és Informatikai Kar
Subject (OSZKAR)
Mikroelektronika
Mikromechanizmus
Mikrotechnika
Mérőátalakító
Kötés (mechanikai)
Mikromechanizmus
Mikrotechnika
Mérőátalakító
Kötés (mechanikai)