Show simple item record

Szabó, Zsolt
J M Lee
M A Mohammad
K van Dalfsen
M Aktary
M Stepanova
S K Dew
2016-09-04T21:35:11Z
2016-09-04T21:35:11Z
2008
http://hdl.handle.net/10890/4571
en
High Density Nanostructure Fabrication with Electron Beam Lithography
egyéb konferenciaközlemény
2681040
2681039
Proceeding of the 52nd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN)
konferenciaközlemény


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

  • BME PA dokumentumai [3731]
    Lezárt gyűjtemény. Fájlok hozzáférési felülvizsgálata folyamatban. Jelenleg a dokumentumok kizárólag BME-s IP címekről érhetők el.

Show simple item record