High Density Nanostructure Fabrication with Electron Beam Lithography

Megtekintés/Megnyitás

127985.pdf (49.03KB)

Dátum

2008

Szerző

Szabó, Zsolt

J M Lee

M A Mohammad

K van Dalfsen

M Aktary

M Stepanova

S K Dew

Metadata

Teljes megjelenítés

URI

http://hdl.handle.net/10890/4571

Collections

BME PA dokumentumai [3736]