High Density Nanostructure Fabrication with Electron Beam Lithography

Thumbnail
Megtekintés/Megnyitás
Metadata
Teljes megjelenítés
URI
http://hdl.handle.net/10890/4571
Collections
Cím és alcím
High Density Nanostructure Fabrication with Electron Beam Lithography
Szerző
Szabó, Zsolt
J M Lee
M A Mohammad
K van Dalfsen
M Aktary
M Stepanova
S K Dew
Megjelenés ideje
2008
Nyelv
en
Egyéb azonosítók
MTMT: 2681040
A cikket/könyvrészletet tartalmazó dokumentum címe
Proceeding of the 52nd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN)
Dokumentumtípus
egyéb konferenciaközlemény
Műfaj
konferenciaközlemény