Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy

Thumbnail
Megtekintés/Megnyitás
Metaadat
Teljes megjelenítés
URI
http://hdl.handle.net/10890/3341
Gyűjtemény
Cím és alcím
Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy
Szerző
Timár, András
Bognár, György
Megjelenés ideje
2009
Kiadó
IEEE Computer Society Press
Nyelv
en
Egyéb azonosítók
MTMT: 2640510
Scopus: 70349332832
Web of Science: 000267364000045
A cikket/könyvrészletet tartalmazó dokumentum címe
Proceedings of the 12th IEEE workshop on Design & Diagnostics of Electronic Circuits & Systems (DDECS '09)
ISBN, e-ISBN
978-1-4244-3339-1
Dokumentumtípus
könyvrészlet
Műfaj
konferenciaközlemény