Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy

Megtekintés/ Megnyitás
Metaadat
Teljes megjelenítésGyűjtemény
- BME PA dokumentumai [3731]
- Cím és alcím
- Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy
- Szerző
- Timár, András
- Bognár, György
- Megjelenés ideje
- 2009
- Kiadó
- IEEE Computer Society Press
- Nyelv
- en
- Egyéb azonosítók
- MTMT: 2640510
- Scopus: 70349332832
- Web of Science: 000267364000045
- A cikket/könyvrészletet tartalmazó dokumentum címe
- Proceedings of the 12th IEEE workshop on Design & Diagnostics of Electronic Circuits & Systems (DDECS '09)
- ISBN, e-ISBN
- 978-1-4244-3339-1
- Dokumentumtípus
- könyvrészlet
- Műfaj
- konferenciaközlemény