Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy

Title: Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy
Author: Timár, András; Bognár, György
Date: 2009
Publisher: IEEE Computer Society Press
Language: en
Egyéb azonosítók: MTMT: 2640510; Scopus: 70349332832; Web of Science: 000267364000045
A cikket/könyvrészletet tartalmazó dokumentum címe: Proceedings of the 12th IEEE workshop on Design & Diagnostics of Electronic Circuits & Systems (DDECS '09)
ISBN, e-ISBN: 978-1-4244-3339-1
Dokumentumtípus: könyvrészlet
Műfaj: konferenciaközlemény