Contactless characterization of MEMS devices using optical microscopy

Megtekintés/Megnyitás

62897.pdf (874.3KB)

Dátum

2009

Szerző

Timár, András

Bognár, György

Metadata

Teljes megjelenítés

URI

http://hdl.handle.net/10890/3341

Collections

BME PA dokumentumai [3736]