Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal

Cím és alcím: Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
Cím és alcím más nyelven: The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics
Szerző: Battistig, Gábor
Megjelenés ideje: 2001
Védés dátuma: 2002-07-12
Témavezető: Egyéni felkészülő
Kiadó: Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Nyelv: hu
Egyéb azonosítók: 000450822
Dokumentumtípus: Ph.D. Thesis
Kar: Villamosmérnöki és Informatikai Kar