Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
Metadata
Show full item record
Link to refer to this document:
Collections
- További disszertációk [446]
- Title
- Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
- Title and subtitle in another language
- The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics
- Author
- Battistig, Gábor
- Date of issue
- 2001
- Date of defence
- 2002-07-12
- Advisor
- Egyéni felkészülő
- Publisher
- Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
- Language
- hu
- Identifiers
- BME OMIKK katalógus-azonosító: 000450822
- Document type
- Ph.D. Thesis
- Faculty
- Villamosmérnöki és Informatikai Kar