Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal

Title: Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
Title and subtitle in other tounge: The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics
Author: Battistig, Gábor
Date issued: 2001
Date of defence: 2002-07-12
Advisor: Egyéni felkészülő
Publisher: Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Language: hu
Identifiers: BME OMIKK katalógus-azonosító: 000450822
Document type: Ph.D. Thesis
Faculty: Villamosmérnöki és Informatikai Kar