Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal

Thumbnail
View/Open
Metadata
Show full item record
URI
http://hdl.handle.net/10890/203
Collections
Title
Mikroelektronikai anyagvizsgálat kisenergiájú magreakciós rezonanciákkal
Title and subtitle in another language
The use of low energy nuclear reaction resonances for materials analysis in microelectronics
Author
Battistig, Gábor
Date of issue
2001
Date of defence
2002-07-12
Advisor
Egyéni felkészülő
Publisher
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Language
hu
Identifiers
BME OMIKK katalógus-azonosító: 000450822
Document type
Ph.D. Thesis
Faculty
Villamosmérnöki és Informatikai Kar