Diminution of the lithographic process variability for advanced technology nodes

Author	Triválné, Szűcs Anna
Date accessioned	2021-12-07T14:03:12Z
Date available	2021-12-07T14:03:12Z
Date of issue	2016
URI of identifier	http://hdl.handle.net/10890/16597
Language	en
Title	Diminution of the lithographic process variability for advanced technology nodes
Document type	Disszertáció
Access level	Open access
Date of defence	2016.01.14
Identifiers [bmeomikk-aleph]	000722825
University	Université Grenoble Alpes, Saint-Martin-d'Hères, Franciaország
Document genre	Doktori (Ph.D.) értekezés
Field	villamosmérnöki tudományok
Identifiers [bmeomikkCallnumber]	K-9871
Date of naturalization	2016.11.24
Universití of naturalization	Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Identifiers [hoid]	620

BME Honosított disszertációk [49]
A Budapesti Műszaki Egyetem honosított PhD értekezései.