Diminution of the lithographic process variability for advanced technology nodes

Thumbnail
View/Open
Metadata
Show full item record
Link to refer to this document:
http://hdl.handle.net/10890/16597
Collections
Title
Diminution of the lithographic process variability for advanced technology nodes
Author
Triválné, Szűcs Anna
Date of issue
2016
Date of defence
2016.01.14
Access level
Open access
Language
en
Identifiers
BME OMIKK katalógus-azonosító: 000722825
BME OMIKK raktári jelzet: K-9871
Honosított fokozat azonosító: 620
Document type
Disszertáció
Document genre
Doktori (Ph.D.) értekezés
Field
villamosmérnöki tudományok
University
Université Grenoble Alpes, Saint-Martin-d'Hères, Franciaország