Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez

Advisor	Pap, Andrea Edit
Advisor	Mizsei, János
Author	Kárpáti, Tamás
Date accessioned	2016-02-22T12:57:29Z
Date available	2016-02-22T12:57:29Z
Date of issue	2015
URI of identifier	http://hdl.handle.net/10890/1500
Language	hu	hu_HU
Publisher	Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem	hu_HU
Title	Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez	hu_HU
Title and subtitle in another language	Wafer bonding for three dimensional microstructures	hu_HU
Document type	Ph.D. Thesis	hu_HU
Doctoral School	Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola	hu_HU
Faculty	Villamosmérnöki és Informatikai Kar	hu_HU
Date of defence	2016-03-18
Identifiers [bmeomikk-aleph]	000586220
Subject	Mikroelektronika
Subject	Mikromechanizmus
Subject	Mikrotechnika
Subject	Mérőátalakító
Subject	Kötés (mechanikai)

Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola [177]
Doctoral School in Electrical Engineering