Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez
Metadata
Show full item record
Link to refer to this document:
Collections
- Title
- Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez
- Title and subtitle in another language
- Wafer bonding for three dimensional microstructures
- Author
- Kárpáti, Tamás
- Date of issue
- 2015
- Date of defence
- 2016-03-18
- Advisor
- Pap, Andrea Edit
- Mizsei, János
- Publisher
- Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
- Language
- hu
- Subject
- Mikroelektronika, Mikromechanizmus, Mikrotechnika, Mérőátalakító, Kötés (mechanikai)
- Identifiers
- BME OMIKK katalógus-azonosító: 000586220
- Document type
- Ph.D. Thesis
- Faculty
- Villamosmérnöki és Informatikai Kar
- Doctoral school
- Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola