Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez

Link to refer to this document:

Title: Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez
Title and subtitle in another language: Wafer bonding for three dimensional microstructures
Author: Kárpáti, Tamás
Date of issue: 2015
Date of defence: 2016-03-18
Advisor: Pap, Andrea Edit; Mizsei, János
Publisher: Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Language: hu
Subject: Mikroelektronika, Mikromechanizmus, Mikrotechnika, Mérőátalakító, Kötés (mechanikai)
Identifiers: BME OMIKK katalógus-azonosító: 000586220
Document type: Ph.D. Thesis
Faculty: Villamosmérnöki és Informatikai Kar
Doctoral school: Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola