Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez

Title: Szeletkötés háromdimenziós mikroszerkezetekhez
Cím és alcím más nyelven: Wafer bonding for three dimensional microstructures
Author: Kárpáti, Tamás
Date: 2015
Védés dátuma: 2016-03-18
Témavezető: Pap, Andrea Edit; Mizsei, János
Publisher: Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Language: hu
Tárgyszó: Mikroelektronika; Mikromechanizmus; Mikrotechnika; Mérőátalakító; Kötés (mechanikai)
Egyéb azonosítók: BME OMIKK katalógus-azonosító: 000586220
Dokumentumtípus: Ph.D. Thesis
Kar: Villamosmérnöki és Informatikai Kar
Doktori iskola: Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola