CMOS-kompatibilis kapacitív páraérzékelő

Advisor	Mizsei, János
Author	Juhász, László
Date accessioned	2015-08-03T10:38:02Z
Date available	2015-08-03T10:38:02Z
Date of issue	2013
URI of identifier	http://hdl.handle.net/10890/1286
Language	hu
Publisher	Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
dc.subject	Integrált áramkör
dc.subject	MOS
dc.subject	Vékonyréteg-technika
dc.subject	Nedvesség
dc.subject	Mérőátalakító
Title	CMOS-kompatibilis kapacitív páraérzékelő	hu
Title and subtitle in another language	CMOS compatible capacitive humidity sensor
Document type	Ph.D. Thesis
Doctoral School	Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola
Faculty	Villamosmérnöki és Informatikai Kar
Date of defence	2014-03-21
Identifiers [bmeomikk-aleph]	000571070

Villamosmérnöki Tudományok Doktori Iskola [210]
Doctoral School in Electrical Engineering